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　　為滿足全球市場對高效率、低成本太陽能電池激增的需求， 全球著名的高科技設備制造商Manz亞智科技推出了轉換效率高達20.5%的業(yè)界領先的晶硅(cSi)太陽能電池生產(chǎn)解決方案。憑借此先進生產(chǎn)解決方案，Manz成功優(yōu)化了晶硅太陽能電池的生產(chǎn)技術，并進一步提升其作為專業(yè)技術提供商的行業(yè)領導地位。Manz將攜其先進cSi生產(chǎn)解決方案參加2014年5月20至22日于上海舉辦的SNEC第八屆國際太陽能產(chǎn)業(yè)及光伏工程展覽會 (SNEC PV POWER EXPO)。

　　Manz新一代生產(chǎn)工藝采用VCS 1200電漿輔助化學氣相沉積(PECVD)垂直式真空鍍膜系統(tǒng)在電池背面沉積氧化鋁鈍化層，結合Manz LAS 2400激光開孔技術，可幫助電池生產(chǎn)企業(yè)在實現(xiàn)高效晶硅太陽能電池規(guī)模化生產(chǎn)的同時將擁有成本降至最低。與市場同類系統(tǒng)相比，Manz易于維護的全自動化設備體積更小、效率更高，適用于單晶硅和多晶硅太陽能電池生產(chǎn)。Manz可為客戶同時提供必要的生產(chǎn)設備和工藝技術，幫助其升級標準電池生產(chǎn)線來生產(chǎn)更高效的PERC電池。

　　Manz VCS 1200系統(tǒng)采用全新的垂直式工藝技術,產(chǎn)量高達每小時1,200個硅片。由于配備高效能電漿和新式載具系統(tǒng)，該鍍膜工藝不會在硅片上留下任何針印或未鍍區(qū)，而這一技術優(yōu)勢正是其他許多同類廠商的系統(tǒng)所不具備的。此外，VCS 1200系統(tǒng)使得PECVD層可以實現(xiàn)單面沉積，而不會出現(xiàn)另一面也有邊緣沉積的情況。Manz的高性能PECVD工藝技術保障了最佳的加工再現(xiàn)性，以及業(yè)界最高的太陽能電池效率和均勻性。由于該系統(tǒng)的快速清洗理念能讓電池制造商在系統(tǒng)外部清洗工藝區(qū)和載具，實現(xiàn)了停機時間最小化。與其他廠商提供系統(tǒng)不同的是，僅需 VCS 1200單一系統(tǒng)就可沉積介電質(zhì)鈍化層。該系統(tǒng)不僅極易維護，還可輕松整合至現(xiàn)有電池生產(chǎn)線中，在正面、背面鍍膜以及載具清洗等方面均實現(xiàn)了業(yè)界最低的擁有成本。

　　與VCS 1200系統(tǒng)一起推出的還有Manz LAS 2400激光開孔系統(tǒng)。該系統(tǒng)可用于背面鈍化層的局部電極開孔，是一款操作簡單、高精度、高產(chǎn)出的解決方案。Manz激光開孔技術為一站式工藝，不僅在這一電池生產(chǎn)流程保證了最低擁有成本，還實現(xiàn)了硅片的安全處理，將破片率降至業(yè)界最低。LAS 2400系統(tǒng)采用模塊化、小體積設計，非常適宜現(xiàn)有生產(chǎn)線的升級。該系統(tǒng)每小時總產(chǎn)量為2,400個硅片，開孔寬度為30至100 μm。Manz晶硅太陽能電池生產(chǎn)解決方案結合了VCS1200及LAS2400的所有優(yōu)勢，將能提升PERC太陽能電池效率至20.5%!

　　此外，Manz還提供了業(yè)界領先的濕化學處理工具IPSG CEI 4800，可與VCS 1200和LAS 2400生產(chǎn)工具配備形成一套完善的技術解決方案。IPSG CEI 4800主要用于去除硅片背面及邊緣的重摻雜層，從而形成化學除邊(CEI)。并在接下來的流程中，去除在之前擴散過程中殘留在硅片正面的磷硅玻璃(PSG)層。由于應用了柔軟的海綿輥和最小化基板壓力的概念，IPSG CEI 4800可實現(xiàn)最低破片率。

　　Manz 集團首席執(zhí)行官兼創(chuàng)始人Dieter Manz表示：“中國是目前世界最大的太陽能電池生產(chǎn)國，同時也是最大的消費市場之一。Manz很榮幸能參與其中，親歷中國太陽能產(chǎn)業(yè)成就輝煌。我們在太陽能產(chǎn)業(yè)擁有25年的豐富經(jīng)驗，全球主要電池生產(chǎn)企業(yè)基本上都是我們的客戶。在激情成就高效能的公司理念指引下，我們一直通過不斷創(chuàng)新來保持領先于競爭對手的市場地位，而PV SNEC 2014給了我們一個展示Manz最新技術的理想平臺。”

　　“Manz一直致力于深耕中國市場，為我們在中國市場日益增長的客戶群提供一流技術和服務。2012年，我們在蘇州建的20,000平方米生產(chǎn)基地正式投入使用。Manz在亞洲現(xiàn)擁有約900名員工，其中幾乎半數(shù)為公司自聘員工。未來我們將繼續(xù)加大在中國市場的投資，與我們當?shù)貥I(yè)務伙伴一起合作共同提升其太陽能電池生產(chǎn)線的質(zhì)量和成本效益。”

　　在光伏產(chǎn)業(yè)，Manz專注于晶硅太陽能電池和薄膜太陽能模塊的生產(chǎn)工藝和解決方案。在晶硅領域，Manz可提供金屬化、激光加工、濕化學處理以及真空鍍膜相關的生產(chǎn)工藝和設備，同時還可提供自動化解決方案以及測試與檢驗方面的專業(yè)知識。

　　圖1. VCS 1200電漿輔助化學氣相沉積(PECVD)垂直式真空鍍膜系統(tǒng)可用于在電池背面沉積氧化鋁鈍化層

　　圖2. Manz LAS 2400激光開孔系統(tǒng)可用于背面鈍化層的局部電極開孔，是一款操作簡單、高精度、高產(chǎn)出的解決方案