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　　隨著空氣內(nèi)散布的微小氣狀分子污染物(AMC)，對半導(dǎo)體及光電等精密制程的品質(zhì)造成舉足輕重的影響時，其品質(zhì)問題所延伸的成本提高及良率降低已然成為不可忽視的重要議題。

　　奇鼎科技率先業(yè)界于多年前始研發(fā)制程一整合線上即時(In－line)連續(xù)監(jiān)看ppbv－pptv等級的微污物(nano－contamination)偵測系統(tǒng)，由廣泛的物種觀察結(jié)果，集結(jié)而成的強(qiáng)大品質(zhì)資料庫，提供高階制程與時俱進(jìn)的品質(zhì)控制方案。

　　憑藉著對先進(jìn)制程環(huán)境中空氣未知物的了解，奇鼎科技推出“AMC去除控制整合節(jié)能方案”作為微污染物去除的對策。應(yīng)用包括制程的微環(huán)境控制(Mini－environment)及廠房環(huán)境(Fab)的外氣供氣處理，提供先進(jìn)制程一個完整的AMC連續(xù)監(jiān)測及去除控制方案。

　　奇鼎科技整合線上連續(xù)監(jiān)測及AMC去除控制的完整方案，提供先進(jìn)制程一個完整的空氣微污染物控制之品質(zhì)精進(jìn)方案，此圖以Array制程為范例，解釋此方案的架構(gòu)。

　　以往微環(huán)境的空氣控制強(qiáng)調(diào)的僅有精密的溫濕度議題，而此領(lǐng)域多年來多由日系設(shè)備掌握資源。2010年起由奇鼎科技成功研發(fā)制造的TAU(Thermal AMC Control)系列，不但提供超前業(yè)界標(biāo)準(zhǔn)的精密溫濕度控制，可在運(yùn)轉(zhuǎn)后短時間達(dá)到溫度精度控制±0.5度C結(jié)合濕度精密控制±1%RH，同時去除AMC效率可達(dá)97%的獨(dú)家過濾方式。

　　此套系統(tǒng)應(yīng)用于先進(jìn)制程時，可提供恒溫恒濕的層流控制于制程環(huán)境中，空氣均勻分布使產(chǎn)品降溫狀態(tài)達(dá)到最佳化；結(jié)合微污染物去除的精準(zhǔn)微環(huán)境控制效果，去除環(huán)境中對產(chǎn)品品質(zhì)有疑慮的微污染物。

　　此項(xiàng)獨(dú)家特殊的AMC去除方法，另可應(yīng)用于外氣空調(diào)箱(MAU)；除了在外氣處理的第一段達(dá)到AMC去除的效果，提供廠房一個低微污物的環(huán)境保證，更可同時為馬達(dá)耗電節(jié)能約90%至98%，在先進(jìn)制程品質(zhì)控制精進(jìn)的方案上，達(dá)到品質(zhì)和成本兼顧的完美搭配。

　　微環(huán)境控制與監(jiān)測的整體解決方案(Total Solution)領(lǐng)域，經(jīng)由奇鼎科技數(shù)年來的耕耘，已獲得臺灣一級晶圓代工及面板廠的肯定，目前更持續(xù)朝海外市場開拓、精進(jìn)，成為更多新進(jìn)制程品質(zhì)進(jìn)階計畫的助力。

　　藉由多年海內(nèi)外實(shí)績已證實(shí)，在制程環(huán)境空氣中所含的微污染物，利用線上監(jiān)看搭配微環(huán)境控制的完整方案，提供高階制程可靠的連續(xù)性分析控制，將大幅降低人為因素造成品質(zhì)監(jiān)控的異常和成本支出，為此領(lǐng)域開拓一個品質(zhì)精進(jìn)的新紀(jì)元。