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　　自中美貿易戰以來，半導體全產業鏈亟需國產化與自主可控已成為國內企業共識。近年來，正業科技基于戰略及業務發展需要，在鋰電池檢測自動化業務的基礎上通過橫向發展，將“X光檢測技術”應用于半導體領域。在2022廣東省半導體產業技術峰會上，廣東正業科技股份有限公司（以下簡稱：正業科技）半導體事業部副總經理魏承鋒以“半導體檢測設備國產替代未來可期”為主題，分享了半導體設備市場現狀，詳細介紹了正業科技在芯片缺陷的自動檢測技術上的最新研發成果。

　　廣東正業科技股份有限公司半導體事業部副總經理魏承鋒

　　魏承鋒表示，正業科技20多年不斷實現國產替代進口，2003年進入光學檢測領域，從事PCB檢測儀器及設備研發；2010年自主研發新能源X-RAY檢測設備；2020年自主研發半導體X-RAY檢測設備。他介紹，“無論是PCB行業，還是鋰電行業檢測，目前正業科技已經在國內市場X-RAY檢測市占率位居前列，特別是國內鋰電池、新能源X-RAY市占率應該有70%左右。”

　　根據國際半導體行業協會（SEMI）《全球半導體設備市場統計報告》，2020年、2021年中國大陸設備銷售額分別是187.2億美元、296.2億美元，增幅達到58%，2021年占全球市場的28.9%。魏承鋒表示，從這個數據上可以看出，目前中國大陸半導體設備銷售額已經占全球第一位，且市場占比也在逐漸上升。不過，他也指出，盡管晶圓制造和封裝測試檢測設備約占半導體設備比例20%，但中國大陸相關的行業設備基本被海外公司壟斷，國產替代率不足10%。其中，在晶圓制造環節，美國KLA份額一家獨大；在封測環節，泰瑞達、愛德萬已成為檢測設備雙龍頭。因此，他認為，中國必須打造自主可控中國產業鏈，提升半導體設備國產化替代率。

　　魏承鋒表示，目前半導體行業痛點主要體現在成本管控與安全保障上。其中，控制成本核心因素之一是減少浪費，誤判率越低，代表成本越有競爭優勢，需要檢測設備必須降低誤判率，同時如果不良品流入下游，輕則召回，導致巨額損失，重則發生重大安全事故，需要檢測設備必須零漏判。為此，針對芯片缺陷的自動檢測技術取得重大突破，正業科技自主研發的半導體分立元件在線全自動X-RAY檢測設備為半導體行業客戶解決了檢測效率的難題。

　　魏承鋒介紹，歷經兩年自主研發，正業科技行業首推全自動X射線在線檢測設備——全自動半導體X-RAY芯片缺陷檢測設備，可實現0%的漏判率、3%的誤判率。對比國內外同類型的設備，他表示，正業科技芯片缺陷檢測設備不僅實現全自動在線檢，無需預前抽檢，避免了有些產品通過抽檢方式有“漏網之魚”，而國外多是半自動檢設備，且售價高達100萬美元，而正業科技設備則僅需40萬美元。

　　他還介紹，正業科技不拆帶全盤掃描X-RAY全自動檢測設備，可以檢測線性壞品、金銅線互混、腳型壞品、球型壞品、異物壞品、Die走位/多余Die壞品、斷頸/頸部受損壞品，不需人工目視檢測，實現零漏檢、極低誤檢。同時，這款設備新增異物和膠水厚度自動檢測，實現在線全檢，產能明顯提高。

　　“實際上，正業科技X-RAY全自動檢測設備不僅自動化更高，效率上也遠遠高于國外同類型的設備，且僅需一人就能操控管理七八臺設備。因為通過機器AGV小車全自動上料跟下料，而過程中又是機器算法自動地全檢識別。” 魏承鋒表示，在設備漏檢率與誤判率上，人工檢測或半自動檢測的方式，都需要人工介入，但人總會疲勞，進而會造成漏檢。

　　魏承鋒指出，全自動在線檢的好處主要體現在：一是實現零漏判、低誤檢；二是生產效率大大提升；三是如果有一定產量規模的生產，整體設備投入是降低的。同時，他也介紹，正業科技不斷拓展X光檢測技術在半導體領域的應用，也開發了手動/半自動半導體X-RAY檢測設備、半導體智能點料機。

　　2022廣東省半導體產業技術峰會錄播

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